- 기판 처리 Size : Max. 370 x 470 mm

- 기판 두께 : 0.4 ~ 3.0 mm

- Scribe 폭 : 0 ~ 300 mm

- Pattern 기억 수 : 30 종류

- 이동 Speed : 5 ~ 450 mm/sec

- Scribing 횟수 : 각 면 50개

- Pass Line : 900 mm 이하