그래픽 스핀코터

박막제조

문의 : 라해진 (031-201-3295~6)

mocona777@khu.ac.kr

소문정 (031-201-3295~6)

speercow@khu.ac.kr

제조사 : 한국(동아)

모델명 : ACE - 200

스핀방식을 이용한 다양한 유기물의 박막도포를 위한 공정장비로서 100mm X 100mm 사이즈의 기판을 최대 8,000 RPM으로 코팅이 가능하며 비교적 소형으로 조작이 간편한 장점이 있다.

- Wafer Size(Max.) : ~ 100mm (4) Diameter (저속 6")
- Bowl Size(내경) : SUS 235 m/m
- BLDC Servo Motor (Speed Up & Down free: 특수구동모터)
- Step : 100, Memory Storage : 100 Program
- Rotation Speed : 0 to 50 ~ 8000 rpm
- Run Time : 1~999sec
- Accuracy : ±1 R.P.M
- 3,000 RPM /sec (가감속도)
- Vacuum Input : -450 ~ -650mmHg (6mm ID / 8mm OD)