* Work
- Size: 6" X 6"
- Thickness (Plastic:0.1 ~ 0.3t, Glass: 0.2 ~ 1.5t)
* 도달진공도: 0.02 Torr
* Cassette 수: 1 Cassette(폭: 4", 작업수량: 5열)
* 주입방식: Contact 방식, Cassette 승강