* Work Size : 6" X 6"
* 방식 : Spin etching 방식
* Spin Table 교환 : Head 착탈식
* Spin Speed : 3 steps - 저, 중, 고 (max. 250 rpm)
* Spin Table 재질 : Teflon
* Etching액 주입방법
  - 처리액 : 정량 pump (자동)