기판세정기
기판상의 불순물 제거
문의 : 정은하  (031-201-3295~6) ehjeong@khu.ac.kr
최해민  (031-201-3295~6) chm22@khu.ac.kr
제조사 : 한국 (신도기연)
모델명 : SDCL-KH01
Glass 기판 혹은 silicon wafer 등을 고속으로 회전시키면서 알카리 세정액 또는 DI water를 분사하고 mega sonic을 이용하여 세정하는 장비이다. Substrate 상의 particle을 효과적으로 제거하고, 세정 공정 후 기판 표면의 DI water를 고속 spin dry로 건조시켜 얼룩 발생을 억제한다.

* Work Size: 6" X 6"
* Mega Sonic System
- Frequency: 1M ~ 1.6MHz
- Nozzle Arm
* 방 식: 회전도포식 1Head
* Work 고정방식: 진공흡착
* 최대RPM: >5000RPM
* 회전제어: Computer
* 용액 Dispensing 장치
* Dispenser Pressure Control
* Dispenser 구동