◆ Work Size: 8" x 8"
◆ 기판고정: Vacuum 흡착
◆ Depth: 1/100mm 설정
◆ Stage 고정: Magnetic System
◆ Stage 이동 Speed: Digital설정, Digital표시, Servo제어
◆ Stage 구동: AC Servo Motor
◆ Roll 회전수: 2000RPM
◆ 정밀도
- Roll회전 흔들림: ±20μm이내
-Table평면도: ±15μm
- Roll 평행도: ±15μm이내(대 Table)
- Roll 주행: ±15μm이내(대 Table)
- Work 위치결정: ±15μm이내